采用的一根非常细的钨金属探针，仅由一个原子组成，直径最细可达到为0.1~1 纳米。

隧道针尖的结构是扫描隧道显微技术要解决的主要问题之一。针尖的大小、形状和化学同一性不仅影响着扫描隧道显微镜图像的分辨率和图像的形状，而且也影响着测定的电子态。