波长200nm以下的短波长紫外线能分解O2分子，生成的O*与O2结合产生臭氧O3。
紫外线能量较高，能使空气中氧气分子分解，放出原子态的氧，它非常活泼，一个原子态的氧能再和一分子氧分子反应生成一分子臭氧分子。
紫外线灯不一定会产生臭氧，臭氧的形成主要由紫外线灯的发光谱线决定，即254纳米和185纳米两条。其中254纳米是无臭氧波段紫外线，只有185纳米是有臭氧波段紫外线。空气中的氧气分子在吸收了185nm波长的紫外光后也会产生臭氧和原子氧。臭氧型紫外线灯具有强氧化作用，它不像一般的紫外线灯只沿直线传播，具有消毒无死角的优点。但超标的臭氧会对人体有伤害，所以消完毒需开窗透气。
什么波段的紫外线会产生臭氧
紫外线杀菌灯产生臭氧的原因是由于波长 200nm 以下的短波长紫外线能分解O₂分子，生成的 O*与O₂结合产生臭氧O₃。具体的反应过程如下。
3O₂+hv=2O₃，其中hv为合适的波长能量。
紫外线是阳光中波长为10～400纳米（nm）的光线，可以分为UVA（紫外线A，波长320～400纳米，长波）、UVB（波长280～320纳米，中波）、UVC（波长100～280纳米，短波）3种。
只有当紫外线的波长不大于200nm时，才能被空气中的O₂吸收，从而发生反应生成O₃。
