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氟化物包括氟化氢、氟化硅、氟硅酸、氟化钙微粒等，以氟化氢为代表，是常见的危害植物生长的污染物。氟化物的污染源，主要是使用水晶石、萤石、磷矿石和氟化氢的企业，如制铝、磷肥、炼钢、玻璃、火箭燃料等工业均是氟化物大量排放的污染源。在大量以土为原料的陶瓷、砖瓦等工业，以及烧煤量大的工业亦排放较多的氟化物。