1。装工件。

2。手动开启转架至少转动一周以上，看是否有刮蹭，如果转动正常，关闭真空门。

3。检查门关到位信号，开启V1阀，启动粗抽泵（机械泵和罗茨泵），开始抽真空，当真空度达到4Pa，关闭V1阀，开启V2和V3阀，使用分子泵（扩散泵）抽真空，此时机械泵、罗茨泵和前级泵共同为分子泵（扩散泵）的前级。

4。当真空度达到镀膜真空后，开始镀膜。