悬空区有多种解释,以悬浮区带熔法为例,是指在充满氩气的密封反应室中进行的,首先将一根长度大约为50到100厘米的多晶态硅棒垂直的放置在高温反应室里,加热线圈把硅棒的末端融化,然后把籽晶晶体熔入已经熔化的区域,熔体将会藉着熔融硅的表面张力而悬浮在籽晶与多晶棒之间,然后加热线圈缓慢向上升高而把熔融硅上方部分的多晶硅棒熔化。
原创 | 2022-11-18 16:57:42 |浏览:1.6万
悬空区有多种解释,以悬浮区带熔法为例,是指在充满氩气的密封反应室中进行的,首先将一根长度大约为50到100厘米的多晶态硅棒垂直的放置在高温反应室里,加热线圈把硅棒的末端融化,然后把籽晶晶体熔入已经熔化的区域,熔体将会藉着熔融硅的表面张力而悬浮在籽晶与多晶棒之间,然后加热线圈缓慢向上升高而把熔融硅上方部分的多晶硅棒熔化。
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