是纳米光学透镜面型精度是采用精密抛光表面与理想平面的偏差量来表征。因为使用可以测量波面的光学干涉仪来测量，所以也被称为反射波面精度。光学透镜面型精度的干涉条纹数的单位是[λ]。λ是干涉仪所使用的氦氖激光器的波长632.8nm。

光学平面精度的单位是什么

平面度是一种属于形位误差中的形状误差，是表示零件的平面要素实际形状，保持理想平面的状况，也就是通常所说的平整程度。

具体指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。公差带是距离为公差值t的两平行平面之间的区域。

平面度的单位是μm。