1、温度:防静电工作区(EPA)内应装设温度调节装置,以维持其室温在15~35°C的范围内。

2、温度:防静电工作区(EPA)内应装设湿度调节装置,保持其室内相对湿度在45%~75%RH范围内。

3、气压:防静电工作区(EPA)内的大气压力应在86~106kPa范围内。不能满足上述要求时,应采取调压措施。

4、洁净度(必要时需监控):需使用洁净环境的防静电工作区(EPA)加工场所,厂房的空气洁净级别按有关工艺设计文件规定执行。