气体中带电粒子在电场作用下加速，碰撞中性粒子，使其激发，电子从激发态回到基态，多余的能量一光子形式发射出来，就形成辉光。

碰撞离化产生正离子和电子，当电子的数量不断大量增加的时候，造成大量电子流，就形成了电流，此时气体击穿。击穿的实质就是电离大量的发生，气体导通。稳定电流与气压、电压和阴阳极间距离有关。