稀有气体可以和氟、氧等元素进行反应。

在加热加压的情况下，以1:5体积比混合氙与氟时，可直接得到XeF4，XeF2和XeF6。

氙的氟化物的合成成功，激发了化学家合成稀有气体化合物的热情，合成了一系列不同价态的氙氟化合物、氙氟氧化物、氙氧酸盐等，并对其物理化学性质、分子结构和化学键本质进行了广泛的研究和探讨，从而大大丰富和拓宽了稀有气体化学的研究领域。