90纳米光刻机是能生产14纳米芯片。

90纳米的光刻机可以用多重曝光的方法，来制造14纳米的芯片。

不过多重曝光，就会让芯片的制造成本增加，而且还会让芯片的良品率下降。

90纳米的光刻机制造，14纳米的芯片，除了他们更高之外，还有技术工艺也会比较复杂。