evu是英文evaporation unit的缩写，意思是蒸发设备
euv是英文extreme ultra-violet的缩写，意思是极紫外光刻，是一种以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。
evu与euv区别
原创 | 2022-10-29 07:23:14 |浏览：1.6万
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