pcws是制程冷却回水供水管，而pcwr是制程冷却进水管道。

工艺冷却水系统(PCW)，亦称制程冷却水系统。主要用于冷却工艺设备，简单来说就是工艺设备的空调系统。PCW系统中有冷冻水和冷却水这两个相对独立的系统，冷冻水由冷冻机提供，冷冻水与冷却水进行热交换，使冷却水降温从而降低设备的温度。