XPS是表面成分分析技术，主要探测表面10nm深度的成分信息，样品表面如果有暴露空气，会吸附空气中的碳氢化合物，所以实际表面铁含量肯定小于1%。

当表面含量低于0.1%， XPS就无法探测到，可以用离子源溅射去除表面吸附层后再进行分析，这样可以排除表面的干扰。当然测试条件上，含量低的组分尽量用大通能，扫描时间延长等。