XPS， 全称为X-ray Photoelectron Spectroscopy（X射线光电子能谱）， 早期也被称为ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)，是一种使用电子谱仪测量X-射线光子辐照时样品表面所发射出的光电子和俄歇电子能量分布的方法。