(1)可以分析除H和He以外的所有元素，对所有元素的灵敏度具有相同的数量级。(2)相邻元素的同种能级的谱线相隔较远，相互干扰较少，元素定性的标识性强。(3)能够观测化学位移。化学位移同原子氧化态、原子电荷和官能团有关。化学位移信息是XPS用作结构分析和化学键研究的基础。(4)可作定量分析。既可测定元素的相对浓度，又可测定相同元素的不同氧化态的相对浓度。(5) 是一种高灵敏超微量表面分析技术。样品分析的深度约2nm，信号来自表面几个原子层，样品量可少至10g，绝对灵敏度可达10g。