XPS光谱

X射线光电子光谱学 (XPS)是一种量化的光谱学技术，用于测量材料中各种元素的经验化学式，化学态和电子态。用x射线束照射材料的同时，测量动能和从材料表面1纳米到10纳米处逃逸的电子数，从而得到x射线光电子光谱。XPS测量在超高真空环境下进行。