X射线光电子能谱(简称XPS)， 它是一种重要的表面分析技术。它不仅能为化学研究提供分子结构和原子价态方面的信息，还能为电子材料研究提供各种化合物的元素组成、化学状态、分子结构、等方面的信息。

XPS可用于定性分析以及半定量分析， 一般从XPS图谱的峰位和峰形获得样品表面元素成分、化学态和分子结构等信息，从峰强可获得样品表面元素含量或浓度。