汉语发展史上，“於”和“于”的发展经历了几个阶段：甲骨文只有“于”，既可作介词，又可作动词金文中的“于”作介词，但仍可作动词春秋战国时期“于”主要作介词，并出现了“於”、“乎”、“诸”等变体两汉时期，“于”逐渐让位于“於”其后，“于”、“於”便逐。